PAI材料在晶圆生产中的作用

MPR1000是一种增强型聚酰胺酰亚胺（PAI）材料，可作为零件的“保护层”，对一般的氧气清洗侵蚀防护会比常用的聚酰亚胺（PI）更加持久。同时，其还兼具陶瓷的稳定性与聚合物的延展性。

增强型PAI型材

低离子含量和低渗气性

良好的耐热性

等离子腔体内侵蚀速率较低

理想的抗碎性、耐久性和机械加工性

定制用于高要求腔体内应用（蚀刻、CVD 和离子注入等应用）

使用寿命比传统材料长，例如在某些情况下，其在臭氧中的使用寿命比PI高25倍以上

为满足真空蚀刻腔所需的强度和纯度标准，同时可承受高强度氧气清洗过程，优化正常运行时间。凭借深厚的行业知识和前瞻性方法，根据其规范对材料进行了改进，以创新性新型聚酰胺酰亚胺（PAI）材料来替代聚酰亚胺（PI）材料，同时积极对材料的实际应用性能进行贝塔测试，成功满足客户需求。