PI聚酰亚胺材料定制晶圆压板退火装置半导体用

退火装置、等离子体蚀刻装置、溅射装置（形成薄膜用的技术之一）等基板支撑用于定位块、压板、吸盘、绝缘环、轴衬、垫圈、晶圆环等