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半导体领域的塑料应用都有那些

片是信息技术产业重要的基础性部件,如今,“缺芯”影响着全球多个科技行业的发展。芯片制造过程十分复杂,提到半导体制造,大家往往多关注硅片、电子特气、光罩、光刻胶、靶材、化学品等材料以及相关设备,鲜少有人介绍贯穿整个半导体制程的隐形守护者——塑料。

半导体制造面临的最大挑战就是对污染的控制,特别是随着半导体技术的发展,随着电子元件越来越小,越来越复杂,它们对杂质的耐受度也就越低,生产条件苛刻,如无尘洁净、高温度、高侵蚀性化学品等。

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在整个半导体制程中,塑料的作用主要是包装和传送,连接每一个加工制程,防止污染和损坏,优化污染控制,提高关键半导体制程的良率。所用到塑料材料包括PP、ABS、PVC、PBT、PC、PPS、氟塑料、PEEK、PAI、COP等(大连东晟进口工程塑料),且随着半导体技术的不断发展,对于材料的性能要求也越来越高。

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1、洁净室

半导体制造从单晶硅片制造、到 IC 制造及封装,都需要在洁净室中完成,且对于洁净度的要求非常高。洁净室板材一般以防火且不易产生静电吸附的材质为主。视窗材料还要求透明。
材料:抗静电PC、PVC
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2、CMP固定环


化学机械研磨(CMP)是晶圆生产过程中一项关键性制程技术,CMP固定环是用来在研磨过程中固定硅片、晶圆,选择的材料应具有良好的耐磨性、尺寸稳定、耐化学腐蚀、易加工,避免晶硅片/圆表面刮伤、污染。

材料:PPS、PEEK

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